Mochini oa Lithography oa Maske Aligner oa ho Sebetsa ka Litšoantšo
Selelekela sa sehlahisoa
Mohloli oa leseli le pepesehelang o amohela LED ea UV e tsoang kantle ho naha le mojule oa ho bopa mohloli oa leseli, ka mocheso o monyane le botsitso bo botle ba mohloli oa leseli.
Sebopeho sa mabone a phetohileng se na le phello e ntle ea ho qhala mocheso le phello ea ho koala mohloli oa leseli, 'me ho nkela le ho hlokomela lebone la mercury ho bonolo ebile ho bonolo. E na le microscope ea binocular dual field e kholo haholo le LCD ea skrine e bophara ba lisenthimithara tse 21, e ka tsamaisoa ka pono ka
Pontšo ea mahlo kapa ea CCD +, e nang le ho nepahala ho hoholo ha ho otloloha, ts'ebetso e bonolo le ts'ebetso e bonolo.
Likaroloana
Ka mosebetsi oa ho sebetsana le likotoana
Ho lekanya khatello ea ho ikopanya ho netefatsa hore ho ka phetoa ka sensor
Lekhalo la ho hokahanya le lekhalo la ho pepesehela li ka beoa ka dijithale
Ho sebelisa khomphutha e kentsoeng + ts'ebetso ea skrine ea ho ama, e bonolo ebile e bonolo, e ntle ebile e mosa
Hula mofuta oa poleiti holimo le tlase, e bonolo ebile e loketse
Tšehetsa ho pepesehela ho kopana le vacuum, ho pepesehela ho kopana ka thata, ho pepesehela ho kopana le khatello le ho pepesehela ho ba haufi
Ka ts'ebetso ea sebopeho sa nano print
Ho pepesehela lera le le leng ka senotlolo se le seng, boemo bo phahameng ba othomathike
Mochini ona o na le ts'epo e ntle le pontšo e bonolo, haholo-holo e loketseng ho ruta, lipatlisiso tsa saense le lifektheri Likholetjheng le liunivesithing
Lintlha tse ling
Tlhaloso
1. Sebaka sa ho pepesehela: 110mm × 110mm ；
2. ★ Bolelele ba maqhubu a pepesehang: 365nm;
3. Qeto: ≤ 1m;
4. Ho nepahala ha ho tsamaisana: 0.8m;
5. Sebaka sa motsamao oa tafole ea ho skena ea sistimi ea ho hokahanya se tla fihlela bonyane: Y: 10mm;
6. Liphaephe tsa leseli tse ka letsohong le letšehali le le letona tsa sistimi ea ho lokisa khanya li ka tsamaea ka thoko ka litsela tsa X, y le Z, tataiso ea X: ± 5mm, tataiso ea Y: ± 5mm le tataiso ea Z: ± 5mm;
7. Boholo ba maske: 2.5 inches, 3 inches, 4 inches, 5 inches;
8. Boholo ba sampole: sekhechana, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ E loketse botenya ba sampole: 0.5-6mm, mme e ka tshehetsa dikotwana tsa sampole tsa 20mm boholo ba tsona (e hlophisitswe ka mokhoa o ikgethileng);
10. Mokhoa oa ho pepesehela: nako (mokhoa oa ho bala nako);
11. Ho se tshwane ha mabone: <2.5%;
12. Maekrosekopo ya ho hokahanya CCD ya masimo a mabedi: lense ya zoom (makgetlo a 1-5) + lense ya maikroosekopo e shebaneng le yona;
13. Ho sisinyeha ha maske ha ho bapisoa le sampole ho lokela ho fihlela bonyane: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Bongata ba matla a ho pepesehela: > 30MW / cm2,
15. ★ Sebaka sa ho otlolla le boemo ba ho pepesehela disebediswa diteisheneng tse pedi, mme enjene ya servo ya diteishene tse pedi e fetoha ka boiketsetso;
16. Ho lekanya khatello ea ho kopana ho netefatsa hore ho ka phetoa ka sensor;
17. ★ Lekhalo la ho hokahanya le lekhalo la ho pepesehela li ka beoa ka dijithale;
18. ★ E na le sebopeho sa nano print le sebopeho sa bohaufi;
19. ★ Ts'ebetso ea skrine ea ho ama;
20. Tekanyo ka kakaretso: Hoo e ka bang 1400mm (bolelele) 900mm (bophara) 1500mm (bophahamo).
